محصولات روکش به طور گسترده در زمینه های مختلف مورد استفاده قرار می گیرند ، یک فیلم جامد معمولاً استفاده می شود ، می تواند برای محافظت ، عایق و دکوراسیون و اهداف دیگر مورد استفاده قرار گیرد ، روش آماده سازی آن عمدتاً استفاده از فناوری تجمع فیزیکی یا فناوری تجمع شیمیایی برای پوشش دادن فلز یا ترکیبات غیر فلزی بر روی مواد بستر است ، یک پوشش را تشکیل می دهد. با این حال ، ساخت پوشش ها فشارهای داخلی ایجاد می کند که بر کاربرد پوشش ها تأثیر می گذارد. بنابراین ، لازم است برای از بین بردن یا تضعیف استرس در داخل ساختار پوشش ، اقدامات مربوطه را انجام دهید تا از خرابی های مختلف ناشی از استرس جلوگیری شود.
1. بستر مناسب را انتخاب کنید
انتخاب یک پوشش و یک ماده پایه با همان ضریب انبساط حرارتی به فرد کمک می کند تا استرس حرارتی را در یک پوشش به طور کامل از بین ببرد. دوم مطابقت با اندازه گیری یا دمای کاربرد پوشش با دمای شکل گیری فیلم است. علاوه بر این ، تأثیر دما باعث ایجاد استرس حرارتی ، جزء استرس فیلم ، به راحتی قابل کنترل می شود. بنابراین ، درگیر شدن با استرس ذاتی از طریق تغییر استرس حرارتی به تقویت استرس میکروسکوپی فیلم کمک می کند.
2. درمان بازپخت حرارتی را انجام دهید
نقایص مختلف موجود در پوشش ، دلایل اصلی استرس ذاتی است. این نقص ها به طور کلی نقص تعادل بین حق و نادرست هستند ، بنابراین تمایل دارند که به تنهایی ناپدید شوند. با این حال ، برای تولید ناپدید شدن ، دنیای خارج موظف است با انرژی فعال سازی مقابله کند. هنگامی که این پوشش تحت فشار گرما قرار می گیرد ، انرژی گرمای خارجی اعمال می شود و بسیاری از نقص های غیر تعادل ناپدید می شوند ، بنابراین استرس داخلی پوشش به طور قابل توجهی کاهش می یابد.
3. روکش مرکز را اضافه کنید
ویژگی های استرس فیلم در فرآیند پوشش بسیاری از لایه های بازتاب بالا ، ضد انعکاس یا سایر فیلم های دی الکتریک یکسان است. این باعث افزایش استرس کل لایه فیلم می شود و منجر به پوشش یا سقوط می شود. لایه ای از فیلم بین لایه های فیلم با استفاده از مفهوم لغو کرنش جمع می شود و این فرایند کنترل می شود تا وضعیت استرس مخالف پوشش ساختاری در فیلم تولید شود و از این طریق آسیب های ناشی از استرس را کاهش دهد.
علاوه بر این ، هنگامی که خصوصیات ماده ماتریس و پوشش بسیار متفاوت است ، یعنی خصوصیات رابط متناقض است ، تعامل آنها بزرگ است و این نیرو تمایل به تعامل این دو ماده دارد ، بنابراین پوشش یک تغییر شکل بزرگ ایجاد می کند و استرس داخلی را تشکیل می دهد. در این حالت ، درمان سطحی بستر ابتدا می تواند انجام شود ، یعنی می توان به زیر لایه ها اضافه کرد تا قابلیت مرطوب شدن سطح را افزایش دهد ، که نقش انتقالی در ساختار پوشش و بستر را ایفا می کند ، تداوم ساختار را حفظ می کند و سپس استرس را کاهش می دهد.
4. معیارهای فرآیند را اصلاح کنید
تغییر پارامترهای فرآیند در فرآیند انباشت پوشش مستقیماً بر سطح استرس باقیمانده در فیلم تأثیر می گذارد. از این رو ، اندازه استرس در فیلم را می توان با اصلاح پارامترهای فرآیند از جمله دمای بستر ، فشار هوای کار و میزان تجمع در هنگام پوشش تنظیم کرد. حتی ماهیت استرس تغییر خواهد کرد.
به عنوان مثال ، برای پوشش لکه دار ، با افزایش فشار لکه دار در محفظه واکنش ، غلظت یون های با انرژی بالا (ذرات) افزایش می یابد ، به طوری که مولکول های گاز با یکدیگر برخورد می کنند ، و سپس انرژی مولکول های گاز کاهش می یابد ، اثر استرس شات اتمی ضعیف می شود ، و مؤلفه متمایل به عنوان ذرات جمع شده افزایش می یابد و نتیجه آن افزایش می یابد و نتیجه آن افزایش می یابد و نتیجه آن افزایش می یابد و در نتیجه افزایش می یابد و نتیجه آن افزایش می یابد و نتیجه آن افزایش می یابد و نتیجه آن افزایش می یابد و باعث افزایش می شود. کوچکتر ، به استرس کششی تبدیل می شود و استرس کششی ابتدا افزایش می یابد و سپس کاهش می یابد.
5. مهارت های انباشته را بهبود بخشید
انرژی جنبشی اتمهای انباشته نیز متفاوت است و غلظت نقص ساختار لایه پراکندگی بین سطحی و ساختار لایه فیلم در فرآیند پوشش انباشت پراکنده مگنترون با تغییر در قدرت منبع RF تغییر می کند. بنابراین تنش های باقیمانده در پوشش تغییر می کند.